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    日本新宇宙COSMOS PS-7在线式气体监测仪

    产品型号: PS-7
    品  牌: 日本新宇宙COSMOS
      价格电议,您可以向供应商询价得到该产品价格
    所 在 地: 广东深圳
    更新日期: 2022-03-02
    详细信息
    日本新宇宙COSMOS PS-7在线式气体监测仪
    型号:新宇宙式特气检测部 PS-7(半导体工厂用)
    特性:专为半导体行业定制,传感器自由更换,维护方便
    检测对象:半导体材料气体
    检测方式:
    特点: 带有气体采样流量自动控制功能
    LCD显示,现场状态一目了然
    实现小型、轻量化
    可简单地更换传感器和采样气路
    带有防止传感器单元错误插入的功能
    可以设定多样的维护模式
    组合对应热分解单元与定电位电解式传感器,能检测NF3等
    实现了用PDA读取数据
    符合CE规格,SEMI规格
    日本新宇宙COSMOS PS-7在线式气体监测仪
    机型 PS-7
    规定型 附带转换器组件型
    检侧原理图 •定电位电解式、热丝型半导体式、隔膜电流电池式
    •热分解+定电位电解式
    取样的方法 泵吸引式(0.5L/min吸引流量 自动控制)
    抽样配管 特氟隆外径6内径4mm、配管距离在20m以内
    甲烷气体氧化还原电位体现 液晶数字四位显示(附带单位)20分割条形图
    报警器接头 •气体报警(1段以及二级) 报警、红色液晶指示灯闪烁、液晶画面 第1段 ALARM1 第1段 ALARM1 ALARM2显示
    •流量降低报警 堵塞指示显示:流量显示为低速运转 报警:黄色LED指示灯闪烁 :液晶画面 FLOW显示以及流量显示为停止运转状态
    •传感器故障报警/传感器误插入报警 报警:黄色LED指示灯闪烁 :液晶画面 SENS.显示 •热分解炉断线报警 报警:黄色LED指示灯闪烁 :液晶画面 CONV.显示
    外接输入 气体浓度模拟输出 DC4~20mA(与电源的负极通用) 气体报警接点(1段以及两极) 1a无电压接点/自动复位 故障报警接点 (开路集电极/自动复位)
    可以高压线缆 控制用屏幕电缆线(Φ8~11mm)x2 3芯或者4芯 使用温度湿度范围 0℃~40℃(但是不能有剧烈的温度变化)、30~85%RH(但不能结露)
    在使用主机电源 DC24V±10%
    消耗掉电网 约7w
    图片尺寸 •W62xH124xD143mm(除去突起物)
    •W62xH124xD143mm(除去选购件和突起物)
    含水量 约1.0kg
    使用策略 壁挂式
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